- 1200℃三温区三通道混气CVD系统
- 1200℃三温区三通道混气CVD系统
壳体结构
· 双层壳体结构并带有风冷
· 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失,环保节能
· 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
可开启式,更换炉管方便
功率
5 KW
电压
AC 208-240V单相, 50/60 Hz
加热元件
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
最高工作温度
1200℃
连续工作温度
1100℃
最大加热速率
≤20 ℃/min
石英管& 密封法兰
· 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
· 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀门(点击下面的图片查看详细的信息)
加热区长度
· 三个温区长度: (880mm, 35" in total)
· 温区 1: 220mm (8.6" )
· 温区 2: 440mm (17.3")温区 3: 220 mm (8.6") 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。
温控系统
· 三个精密温度控制器,可独立控温· PID控制方式,通过PWM固体继电器。
· 30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序.
· 带有过热和断偶保护功能
控温精度
+/- 1℃
真空密封系统
· 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀).
· 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达到10-4 torr.
· 漏气率 < 5 m-torr / min
真空泵
采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的0.3微米
数字式真空显示计
可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
气体流量计和压力表
· 三个浮子流量计,能够检测到气体的流
· 三路浮子量程分别为· 10-100 cc/min.
· 16-160 cc/min.
· 25-250 cc/min
· 内部安装有一混气罐有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力
阀门
四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量
外形尺寸
· 炉子: 1100 X 450 x 670mm
底部移动架: 600x600x597mm
开门断电
为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
净重
约 90 Kg
运输重量
245 lbs
质保期
一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件
使用注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa会更加精确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等