主要特点

•真空吸附方式固定样件，操作简便。

•使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。

•根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。

•设有12组程序，每组包含6个运行阶段。

•电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

•50W/24V 直流电机

•适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外）

 基

本

参

数

•电机功率：50W/24V

•速度范围：500-10000rpm

•程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段

•增减速率设置：100rpm/s-2000rpm/s

•时间范围：0-60s

•吸盘：Φ19mm、Φ60mm

进气口：

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部分：

上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，最高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。

产品尺寸：450mm×280mm×340mm；

重量：20kg

可选配件：过滤器（真空泵用）

保修期：一年保修，终身技术支持。

标准配件：

1   真空吸盘（含O型圈）     2个

2 中心定位器（含4个定位柱） 1个

3 滴胶注射器（20ml）          1个

4 注射器支架                 1个

5 AP-1400V无油真空泵         1台

6 橡胶管（含卡箍）         1根