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- 微型PECVD系统
- 微型PECVD系统
- 等离子源：
等离子体射频电源：110V或220VAC,50/60Hz,<100W
输出频率：13.56MHz
三档射频功率大小：7.2W.10.5W和18W（可调节）
腔体尺寸：3"ODx2.7"IDx16"L
仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2torr（用机械泵)
滑动法兰：
•有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。
样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。
•加热圈尺寸：50mmODx40mmIDx70mm，可使样品达到的温度为400℃
•加热圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩，以减小热量损失
•温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为：+/-1℃
输入电源：AC220V
两通道混气系统：
•混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM
•三个机械压力表：-0.1-0.15MPa,
•混气箱上安装有304不锈钢针阀
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混气箱尺寸：340Lx300Dx180H,mm（13.4"x12"x7")!
净重:141bs.
真空和气体接口：
标准的真空配置有
•一套3”的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)
•一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍
•一个数字式真空显示计
•等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2,Ar,Air,以及各种混合性气体。
•可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处
(注意:不可通入易燃易爆性气体)
真空泵：
•仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,
进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr
移动架：
设备中配有—600Lx600Wx600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面
仪器尺寸：
•等离子源：8.5"Hx10"Wx8"D
•温控盒：4"Hx10"Wx8"D
移动架：600x600x600mm
重量：
701b(包含真空泵)
质保期：
一年质保期（不包含石英管和密封圈）