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- 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统
- 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统
- 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统产品特点：
1、射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
2、齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;
3、4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;
4、炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统参数：
工作电源：
•输入电压：AC208-220V，50/60Hz
•总功率：<4KW
加热炉参数：
•最高温度：1100℃(<30min)；连续工作温度：1000℃;
•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃;
•工作电压：110V；
•额定功率：1.5KW；
•回转炉旋转速度：0-5rpm。
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统(可选)：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度：±0.02%);
•流量范围：•电压：208-240V，AC，50/60Hz；
•气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出
•PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置
循环水冷机：
标配KJ-5000循环水冷机，水流速率：16L/min
产品尺寸和重量：
尺寸：1400mmL-600mmW-1240mmH
净重：90Kg
承诺：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件