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- 双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱
- 双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱
手套箱特点：
•真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接；
•两个炉体在一个滑轨上，可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!
加热炉参数：
•连续工作温度：1100℃
•两个炉体都可设置30段升降温程序
•高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）
•电源：AC220，50Hz 最大功率：3KW
手套箱参数:
•带有除水系统：保持水含量<2ppm
•真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管连接
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V，AC，50/60Hz；
•气体进出口配件：6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
•PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸：
炉体尺寸：1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)
手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)
质保：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件