半柜式/全柜式清洗机

清洗机，用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、使用过程及维护时生成或侵入的污染物；也可以适用于对工作油液的定期维护过滤，提高清洁度，避免或减少因污染而造成的故障，从而保证液压系统设备的高性能、高可靠度和长寿命。

产品介绍
 适合于8英寸及以下晶圆的单片清洗工艺
根据客户要求可选配高压、兆声、二流体等多种清洗工艺
不锈钢半柜式、柜式柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
可配置清洗液、氮气温控功能
可配置增压泵高压清洗
高精度清洗臂,可灵活设置清洗工艺

产品参数

旋转速度范围:20-3000rpm

加速度范围:20-5000rpm/s

清洗管路：≤3

设备尺寸：1100mm(W)*600mm(D)*1100mm(H）