喷胶机

适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

产品参数

控温范围：50-150℃
温度均匀性:±1%
3光刻胶流量:0.4-20ml/min
加热平台转速:1-30rpm
喷嘴水平移动速度:≤200mm/s
喷嘴水平行程:≤300mm
光刻胶雾化直径:30-50μm
设备尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)