产品展示更多>>
- 近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉
- 近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉
技术参数
真空腔体
- 腔体为一高纯石英管
- 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H
真空法兰
- 真空法兰材质为316不锈钢制作
- 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
- 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
- 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr
- 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
- 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度
混气系统
可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
加热元件和载样台
- 由两组IR红外灯管进行加热
- 额定功率800 W 总功率：1600W
- 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上
- 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
- 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀
- 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料
热电偶两个K型热电偶分别安装在上下法兰上
温控系统
- 两个控温系统都为PID30段程序化控温
- 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中
工作温度
- 两个加热区域单独工作的高温度： <= 650ºC
- 两个加热区域大温差: <= 350 ºC
加热和冷却速率
- 加热速率: > 8 ºC /S
- 冷却速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)
电源
208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）
可选配件
本公司出售真空泵和水冷系统
质保期
一年质保期 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )
质量认证 
CE