产品展示更多>>
- 高真空蒸发镀膜仪
- 高真空蒸发镀膜仪
技术参数
电压
- 输入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相 ( < 3200W )
- 输出： 0 - 8VAC （可调）大电流： 400A （可调）
- 大功率：4000W（包括真空泵）
真空腔体
- 不锈钢腔体：280mm ID. x 375 mm H，腔体内壁做了电抛光处理
- 有一个150mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）
- 一个RF-150法兰，便于放入样品。
- 一个KF-40法兰,可与真空泵相连接
- 四个CF-35法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用
真空泵
- 仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵
- 前级泵抽速：600L/S
- 真空度：5.0x10-6 torr（泵开启后40分钟）
- 极限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤温度为60-80℃）
- 漏气率：5.0x10-7Pa./S
蒸发加热源 样品台
- 5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨加热舟
- 每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以防止各物料之间的污染，样品台安装在真空腔体顶部，直径为150mm
-
样品台可以旋转和加热，旋转速度0-20rpm，加热高温度600℃
- 蒸发源与样品台的距离为250mm
测厚仪
- 一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部
- 测量精度为：1.0Å
循环水冷机
- 仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机
- 所需水流量>15L/min
控制单元
- 真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内
- 控制单元和真空腔体独立分开，以便于操作
外形尺寸
L600mm× W860mm× H1500mm
净重
600kg
质保
一年质保期，终生维护
质量认证
CE认证