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- 等离子清洗机
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- 等离子清洗机技术参数
输入电源 AC 220V , 50/60 Hz, 大射频功率: 100 W 真空泵功率: < 500W 总功率: < 600W 射频功率 射频功率可在 0 - 100W之间调节 射频: 13,56 MHz 可以与本公司工作人员采用300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验 等离子腔体 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 铝制折叠式法兰来进行真空密封 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 控制面板 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量 真空泵 仪器中包括一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。 极限真空度为50mTorr 通入气体 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） 可选 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 可选购2-4通道质子或浮子混气系统 
外型尺寸 620 L ×450 W ×600 H, mm 质保期 一年质保期，终生维护