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- 小型等离子清洗机
- 小型等离子清洗机
- 小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内*清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
技术参数主要特点 采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 可短时间内*清洗掉有机污染物。 清洗程度可达到分子级。 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌. 样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻. 广泛应用于光学,光电子学,电子学,材料科学,生命科学,高分子科学,生物医学,微观流体学等领域. 参数 电压：AC220V 10A 消耗功率：<500W（包括真空泵） RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz 腔体：Φ190mm×98mm 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm 内腔：Φ165mm×55mm 清洗电极：Φ120mm 样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm 样品台与电极间距：15mm-50mm可调 抽气管：Φ12mm 极限真空度：0.1Pa 工作真空度：60Pa-500Pa 气路数量：2路（选装） 流量控制器数量：1、2 流量显示仪：2通道 气路接口：Φ6mm 加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） 冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa 工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m 产品规格 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） 重量：20kg（不含真空泵） 可选配置 加热样品台 流量控制器（量程10、50、100，多可增加2个通道）