- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
技术参数
炉体结构
- 两个炉体在一个滑动轨道上，炉体高工作温度1200℃
- 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
- 一个滑动轨道安装在两炉体底部，可手动推动炉体滑动
- 仪器中配有不锈钢密封法兰
总功率
2.5KW
电压
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, （需要20A的空气开关）
高工作温度
1200℃
连续工作温度
1100℃
加热&冷却速率
加热速率:
15°C/sec (RT - 150°C);
10°C/sec (150°C - 250°C);
7°C/sec (250°C - 350°C);
4°C/sec (350°C - 500°C);
3°C/sec (350°C - 550°C);
2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C);冷却速率:
15°C/sec (1000 - 950°C);
10°C/sec (950°C - 900°C);
7°C/sec (900°C - 850°C);
4°C/sec (850°C - 750°C);
2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);注意:
大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的，将炉体加热到目标温度，然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后，滑动炉体，使样品暴露在加热区外，来实现快速冷却
加热区长度
每个炉体的加热区为200mm
恒温区
60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
加热元件
掺钼铁铬铝合金
炉管
- 高纯石英管
- 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
温度控制系统
- 两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。
- 控温仪表操作视频
- 设置有超温和断热偶报警
- 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上）
- 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温
（点击图片查看详细资料）
真空法兰
- 仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表
- 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，数显真空计
滑轨长度
1200mm
真空度
- 10E-5 torr（采用分子泵）
- 10E-2 torr（采用机械泵）
- 可在本公司选购真空泵
可选
- 可选择电动滑轨，更好的控制快速升降温速率
- 1-9通道质量流量计（MFC）控制的供气系统
- 100W-500W的射频等离子源
- 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统
尺寸
1500 x 380 x 620 mm（炉体＋滑轨）
净重
约80kg
质保期
一年质保期，终身维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）
质量认证
- CE认证
- 所有电器元件（输入电压>24V）都通过了UL/MET/CSA认证
- 本公司保证此设备通过TUV(UL61010）或CSA认证（需额外出认证费用）
使用注意事项
- 炉管内气压不可高于0.02MPa
- 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
- 进入炉管的气体流量需小于200SCCM
- 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态