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- OTF-1200X-SF含滑轨法兰的管式炉--OTF-1200X-SF
- OTF-1200X-SF含滑轨法兰的管式炉--OTF-1200X-SF
OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。
技术参数
炉体结构
- 炉管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
- 高工作温度为1100℃
- 右端安装有一水冷滑轨法兰,以便于放样和取样
- 在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰
- 左端水冷法兰上有个气体接口,用于客户通入反应气体
电源
单相, 220V AC, 50/60 Hz
大功率
3.6KW(需要20A的空气开关)
加热区
- 主反应炉:440mm
- 恒温区:100mm
温控系统
- 采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序
- 采用K型热电偶
- 控温精度:+/- 1℃
- 可选购控温软件,可通电脑来设置和显示温度程序
密封法兰
右端法兰:
- 水冷却法兰,通过冷却循环水对密封圈进行水冷(可在本公司购买循环水冷机)
- 法兰上有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
- 炉体内的样品台与法兰相连接,并且右端法兰为滑轨法兰,以便于放样和取样
- 法兰上安装有一数显防腐真空计(如下图)
净重
100kg
尺寸
- 右端法兰关闭时的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)
- 右端法兰打开时的大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)
质保
一年质保期,终身维护(不包含炉管、密封圈和加热元件)
质量认证
- 质量认证
- 所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL认证
- 本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证
注意事项
- 炉管内气压(相对气压)需小于0.02MPa
- 所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买减压阀)
- 当设备温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态,需处于常压或微正压状态
- 进气流量需小于200sccm